Pura Plus在線微量濕度異動變送器尺寸和指標的需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器,多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應zui末端,用來監(jiān)測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜,涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后,會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入,影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示,在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。 亮點
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